Für die Inspektion der reflektierenden Oberfläche von Wafern eignet sich eine Beleuchtungsvariante mit koaxialem Licht.
Das Bild rechts zeigt einen Ausschnitt eines strukturierten Wafers.
Unser VARI Universal CIS (VUCIS) mit der Beleutungsvariante „Streifenregelung“ bietet sich an.
